将工作液体注入微型喷射装置的装置和注入工作液体方法

摘要

本发明公开了一种将工作液体充填到微型喷射装置的装置和将工作液体充填到微型喷射装置的方法。充填有工作液体的容器位于与真空装置相连的真空腔室中,多个具有微型喷射装置的盒体被插入到工作液体容器中,且工作液体容器中的工作液体充填到各个微型喷射装置的加热腔室中。因此,可简化整体制造方法,从而提高了生产率并缩短了产品的整体制造时间。

主权项

1.一种将工作液体充填到微型喷射装置的装置，包括：真空腔室；与所述真空腔室相连的空气供给和排空装置，用于排空所述真空腔室以将真空腔室内的压力控制在较低的范围内，并用于将空气供给到真空腔室以解除真空腔室内的低压状态；设置在所述真空腔室内的工作液体容器，用于容纳所述工作液体；和盒体接收容器，用于固定带有多个微型喷射装置的盒体，所述盒体接收容器可被插入到所述工作液体容器中。