| 发明名称 |
Method for preparation of target material for spattering |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2343683(A) |
申请公布日期 |
2000.05.17 |
| 申请号 |
GB20000001521 |
申请日期 |
1999.06.16 |
| 申请人 |
* TANAKA KIKINZOKU KOGYO K K |
发明人 |
NORIAKI * HARA;SOMEI * YARITA;KEN * HAGIWARA;RITSUYA * MATSUZAKA |
| 分类号 |
C23C14/34;C25D3/66;C25D5/50;(IPC1-7):C23C14/34;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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