发明名称 SYSTEM FOR DETECTING ANOMALIES AND/OR FEATURES OF A SURFACE
摘要
申请公布号 EP1000346(A1) 申请公布日期 2000.05.17
申请号 EP19980939174 申请日期 1998.07.28
申请人 KLA-TENCOR 发明人 ZHAO, GUOHENG;STOKOWSKI, STANLEY;VAEZ-IRAVANI, MEHDI
分类号 G01B11/30;G01N21/94;G01N21/95;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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