Objective with polarisation effects compensation

摘要

Bei einem Objektiv - vorzugsweise ein katadioptrisches projektionsobjektiv der Mikrolithographie - werden polarisationsabhängige Effekte hinsichtlich Strahl-Geometrie und Phase, wie sie durch die unterschiedliche Reflexion in Abhängigkeit von der Polarisationsrichtung bezogen auf die Reflexionsebene entstehen können, durch Anpassung dielektrischer Reflexschichten oder durch zusätzliche nicht komplanare Umlenkungen kompensiert. <IMAGE>