发明名称 METODO COMPUTERIZADO DE ANALISIS MEDIANTE ESPECTROSCOPIA DE PLASMAS PRODUCIDOS POR LASER PARA EL CONTROL DE CALIDAD DE CELULAS SOLARES.
摘要 Método computerizado de análisis mediante espectroscopia de plasmas producidos por láser para el control de calidad de células solares. Mediante este método, un potente láser de nitrógeno es enfocado sobre el material a analizar y, como resultado de la interacción con la muestra, una pequeña cantidad es vaporizada (ablación), formándose sobre la superficie del sólido un plasma de elevada temperatura y gran densidad electrónica. La resolución espectral de la luz emitida por el plasma, utilizando como detector un dispositivo de acoplamiento de carga bidimensional, proporciona información acerca de la composición química del material ablacionado, simultáneamente en superficie (técnica de mapeo) y en profundidad (perfiles de profundidad). Esta técnica es de utilidad para el control de calidad en la industria de la tecnología fotovoltaica y es aplicable tanto al material base como a los distintos estados de elaboración de la oblea durante la fabricación de células solares fotovoltaicas.
申请公布号 ES2134164(B1) 申请公布日期 2000.05.16
申请号 ES19970002565 申请日期 1997.12.10
申请人 UNIVERSIDAD DE MALAGA 发明人 LASERNA VAZQUEZ JOSE JAVIER;MARTIN JIMENEZ FRANCISCO;POTS SANDER;HIDALGO NUNEZ MONTSERRAT
分类号 G01J3/18;G01N21/63;G01N21/74;H01L31/18;(IPC1-7):G01J3/18 主分类号 G01J3/18
代理机构 代理人
主权项
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