发明名称
摘要
申请公布号 JP2000505916(A) 申请公布日期 2000.05.16
申请号 JP19980528293 申请日期 1997.12.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G02B13/14;G02B13/18;G02B13/22;G02B13/24;G03F7/20;(IPC1-7):G02B13/24 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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