| 发明名称 |
HEAT TREATMENT APPARATUS AND THE CLEANING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100257305(B1) |
申请公布日期 |
2000.05.15 |
| 申请号 |
KR19930028339 |
申请日期 |
1993.12.18 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
OKASE, WATARU;HASEI, MASAAKI |
| 分类号 |
C23C16/44;(IPC1-7):H01L21/324;H01L21/304 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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