| 发明名称 |
MICROCAVITY STRUCTURE, AOOLICATIONS THEREOF AND PROCRSS OF MAKING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100257431(B1) |
申请公布日期 |
2000.05.15 |
| 申请号 |
KR19970045108 |
申请日期 |
1997.08.30 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. |
发明人 |
CRONIN JOHN EDWARD;STAMPER ANTHONY KENDALL |
| 分类号 |
H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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