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经营范围
发明名称
A VASPEL INSERT RING OF PROCESS CHAMBER
摘要
申请公布号
KR200181528(Y1)
申请公布日期
2000.05.15
申请号
KR19990029111U
申请日期
1999.12.22
申请人
ANAM SEMICONDUCTOR.,LTD.
发明人
JANG, HYUN JOO
分类号
H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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