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发明名称
摘要
申请公布号 JP3041354(B2) 申请公布日期 2000.05.15
申请号 JP19990141702 申请日期 1999.05.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/8234;G05F1/56;H01L27/088;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
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