| 主权项 |
1.一种晶圆保管/输送方法,其系将晶圆保管于有机 树脂所形成之晶圆收纳盒而将晶圆保管或输送之 方法,其特征在于: 将前述盒体内温度设定为-50℃-15℃而加以保管。2 .依申请专利范围第1项所述之晶圆保管/输送方法, 其中前述被保管之晶圆系为镜面研磨/洗净后之未 图样化晶圆者。3.依申请专利范围第1项所述之晶 圆保管/输送方法,其中前述被保管之晶圆系为外 延生长/洗净后之未图样化晶圆者。4.一种晶圆之 有机物评估方法,其系保管于有机树脂所形成之晶 圆收纳盒内之晶圆之有机物评估方法,其特征在于 : 在晶圆表面将一定量之纯水水滴滴下于晶圆上后, 从该水滴与晶圆与气体之三相之接触界面上测量 至水滴顶点之直线与晶圆所形成之角度,而以 =2之式求出接触角,而依该接触角实行有机 物评估。图式简单说明: 第一图为揭示各保管温度下之晶圆1之接触角之保 管时间之依存性之示意图。 第二图为各保管温度下之晶圆1之一定时间保管后 之接触角。 第三图为测定附着于晶圆1之有机物用之接触角测 定法,(B)为基本原理图,(A)为实际测定法之对应图 。 第四图为本发明中所使用之晶圆收纳盒之分解立 体图。 |
