SENSOR ARRANGEMENT FOR DETECTING THE PHYSICAL PROPERTIES OF LIQUIDS

摘要

Es wird eine Sensoranordnung zur Ermittlung von physikalischen Eigenschaften einer Flüssigkeit vorgeschlagen, mit elektro-akustischen Wandlern (6) auf einem Substrat (5), die mit der Flüssigkeit benetzbar sind und zur Erzeugung und Detektion akustischer Oberflächenwellen mit vorgegebenen Wellenmoden geeignet sind. Als Substrat (5) wird ein Y-gedrehter Quarzschnitt verwendet und über dem Substrat (5) liegt eine Wellenleiterschicht (16), wobei das Mass der Y-Drehung des Quarzschnittes und das Material der Wellenleiterschicht (16) so gewählt sind, dass sich eine weitgehende Temperaturkompensation im Bereich der Temperatur der zu untersuchenden Flüssigkeit ergibt.