| 摘要 |
Eine Vorrichtung zum Beschichten von plattenförmigen Substraten (26) durch Kathodenzerstäubung hat hintereinander mehrere Prozesskammern (1), die nach oben hin jeweils durch eine eine Öffnung (4) aufweisende Kammerdecke (3) begrenzt sind. In diese Öffnung (4), welche nach oben hin von einer Kathodenanordung (6) abgedeckt wird, ist ein Gestell (10) eingesetzt. Blenden (17, 27, 28, 29) und Kühlmittelleitungen (16) der Prozesskammer (1) sind an dem in die Prozesskammer (1) ragenden, nach oben hin aus der Öffnung (4) herausziehbaren Gestell (10) vorgesehen, welches sich innerhalb der Öffnung (4) der Kammerdecke (3) abstützt. Ein Deckel (5) der Kathodenanordnung (6) überragt das Gestell (10) seitlich und stützt sich unmittelbar dichtend auf der Kammerdecke (3) ab.
|
