发明名称 Verfahren und Anordnung zur Messung von Strukturen eines Objekts
摘要
申请公布号 DE19816272(C2) 申请公布日期 2000.05.11
申请号 DE19981016272 申请日期 1998.04.11
申请人 WERTH MESSTECHNIK GMBH 发明人
分类号 G01L5/00;G01B11/00;(IPC1-7):G01B11/03;G01L1/00 主分类号 G01L5/00
代理机构 代理人
主权项
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