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经营范围
发明名称
Verfahren und Anordnung zur Messung von Strukturen eines Objekts
摘要
申请公布号
DE19816272(C2)
申请公布日期
2000.05.11
申请号
DE19981016272
申请日期
1998.04.11
申请人
WERTH MESSTECHNIK GMBH
发明人
分类号
G01L5/00;G01B11/00;(IPC1-7):G01B11/03;G01L1/00
主分类号
G01L5/00
代理机构
代理人
主权项
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