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发明名称
A method of manufacturing semiconductor devices
摘要
申请公布号
GB2306050(B)
申请公布日期
2000.05.10
申请号
GB19960020718
申请日期
1996.10.04
申请人
* NEC CORPORATION
发明人
TOMOTAKE * MORITA
分类号
H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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