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发明名称
Projection exposure apparatus with a catadioptric projection optical system
摘要
申请公布号
EP0964282(A3)
申请公布日期
2000.05.10
申请号
EP19990111428
申请日期
1999.06.11
申请人
NIKON CORPORATION
发明人
OMURA, YASUHIRO;OZAWA, TOSHIHIKO;MORI, TAKASHI;KOMATSUDA, HIDEKI
分类号
G02B13/14;G02B17/08;G02F1/13;G02F1/1335;G02F1/13357;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B17/08
主分类号
G02B13/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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