发明名称 Projection exposure apparatus with a catadioptric projection optical system
摘要
申请公布号 EP0964282(A3) 申请公布日期 2000.05.10
申请号 EP19990111428 申请日期 1999.06.11
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 OMURA, YASUHIRO;OZAWA, TOSHIHIKO;MORI, TAKASHI;KOMATSUDA, HIDEKI
分类号 G02B13/14;G02B17/08;G02F1/13;G02F1/1335;G02F1/13357;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B17/08 主分类号 G02B13/14
代理机构 代理人
主权项
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