发明名称 |
An ion implanter with substrate neutralizer |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2343547(A) |
申请公布日期 |
2000.05.10 |
申请号 |
GB20000005912 |
申请日期 |
1996.08.01 |
申请人 |
* APPLIED MATERIALS INC;* INTEL CORPORATION |
发明人 |
JONATHAN GERALD * ENGLAND;BABAK * ADIBI;MITCHELL C * TAYLOR |
分类号 |
H01J37/05;H01J37/30;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317;H01J37/02 |
主分类号 |
H01J37/05 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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