发明名称 | 静电悬浮的操作电极 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种静电悬浮的操作电极。它具有电极组和激光测距探头组,电极组包括一个位于的圆形电极,以及三个位于外周的等分环形电极,整个电极组制作在一块平面的印刷电路板上,激光测距探头分别固定在三个电极区,并在电极区的相应位置上开了三个小孔。本实用新型原理新颖,结构简洁,技术条件易于实现,克服了磁悬浮技术的局限性,大大拓宽了应用范围。 | ||
申请公布号 | CN2377681Y | 申请公布日期 | 2000.05.10 |
申请号 | CN99204491.X | 申请日期 | 1999.03.12 |
申请人 | 浙江大学 | 发明人 | 吴兰;章海军;黄峰 |
分类号 | H01L43/00 | 主分类号 | H01L43/00 |
代理机构 | 浙江大学专利代理事务所 | 代理人 | 张法高 |
主权项 | 1.一种静电悬浮的操作电极,其特征在于它具有电极组[1]和激光测距探头组[2],电极组包括一个位于中央的圆形电极D,以及三个位于外周的等分环形电极A、B、C,整个电极组制作在一块平面的印刷电路板上,相邻电极区之间由绝缘沟互相隔开,激光测距探头组包括三个与电极平面垂直的激光测距探头,它们分别固定于电极区A、B、C中央位置,在探头所在的电极区的相应位置开有三个小孔。 | ||
地址 | 310027浙江省杭州市玉古路20号 |