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发明名称 Treatment installation for flat substrates
摘要
申请公布号 GB0006605(D0) 申请公布日期 2000.05.10
申请号 GB20000006605 申请日期 2000.03.17
申请人 LEYBOLD SYSTEMS GMBH 发明人
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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