发明名称 |
MICROMECHANICALLY PRODUCED FLOW-RESTRICTION DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0943076(B1) |
申请公布日期 |
2000.05.10 |
申请号 |
EP19970951190 |
申请日期 |
1997.11.13 |
申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER |
发明人 |
WOIAS, PETER,DR. |
分类号 |
G01F1/38;G01F1/40;G01F1/48;(IPC1-7):G01F1/38;F15C5/00 |
主分类号 |
G01F1/38 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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