减少电容位置传感器对污染物敏感程度的电介质覆盖层

摘要

一种能减少微粒和液体污染物的影响的电容位置传感器。该位置传感器的电极上具有一层比较厚的介电材料覆盖层，使得介电覆盖层的串联阻抗至少等于覆盖层之间的最大电容性阻抗，不论它们之间是否有污染物存在。在一个实施例中，覆盖层被彼此间隔开从而形成了一个空气隙；而在另一个实施例中，覆盖层彼此有弹性地压向一起，因而覆盖层之间可互相滑动。

主权项

1.一种电容传感器，该电容传感器具有第一基板，该基板包括第一电极组，该电极组沿测量轴线方向排列，并且还具有第二基板，该基板包括第二电极组，该电极组沿上述测量轴线方向排列，上述第一和第二基板被固定在使上述第一和第二电极组互相面对的位置上，从而使上述第一和第二电极组之间的电容性耦合指示出沿着上述测量轴线的上述第一和第二基板之间的相对位置，其特征在于，包括一种用于使上述传感器的性能不易受处于上述第一和第二电极组之间的污染物影响的装置，该装置包括一层介电材料，该介电材料覆盖在上述第一和第二电极组中的至少一个电极组上，从而形成一些表面，这些表面界定着被定义为所述两个电极组表面之间的间隙的一个内部电极区，上述表面包括覆盖在上述电极组上的任何介电材料，在上述第一和第二电极组之间的每一介电材料具有一个厚度/介电常数比，在上述第一和第二电极组之间的每一介电材料的上述厚度/介电常数比值之和大于上述内部电极区的厚度，从而上述第一和第二电极组之间的上述内部电极区的最大电容性阻抗小于上述第一和第二电极组之间的上述介电材料的电容性阻抗。