| 发明名称 |
Stage apparatus and method for producing circuit device utilizing the same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0867773(A3) |
申请公布日期 |
2000.05.10 |
| 申请号 |
EP19980302173 |
申请日期 |
1998.03.24 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
NISHI, KENJI;KIUCHI, TORU |
| 分类号 |
B23Q1/00;B23Q1/26;B23Q1/62;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):G03F7/20;H01L21/00 |
主分类号 |
B23Q1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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