MULTIPLE POINT POSITION SCANNING SYSTEM,申请号EP19980931251-传众专利搜索

发明名称	MULTIPLE POINT POSITION SCANNING SYSTEM
摘要
申请公布号	EP0996963(A1)	申请公布日期	2000.05.03
申请号	EP19980931251	申请日期	1998.06.18
申请人	GENMARK AUTOMATION, INC.	发明人	GENOV, GENCO;TODOROV, ALEXANDER;IVANOV, ENTCHO;BOTEV, ROUMEN;MICHAYLOV, VLADIMIR;KOSTOV, LUBO;SOTIROV, ZLATKO;BONEV, EUGENE
分类号	G01B11/00;B25J9/16;G05B19/401;H01L21/00;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	G01B11/00
代理机构		代理人
主权项
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