电流测定方法,电流传感器及使用该电流传感器的IC试验装置

摘要

一种电流测定方法,将被测定电流变换为电压信号,利用该电压信号对透过光调制器的光进行相位调制,使该相位调制了的光和未相位调制的光干扰得到干扰光,利用该干扰光的强度测定被测定电流;一种IC试验装置,使用该电流测定方法,测定流过被试验IC的电源端子的电流,在该电流值大于规定值的情况下判定该被试验IC不合格。

主权项

1、一种电流测定方法，其特征在于，利用电流-电压变换器将被测定电流变换为电压信号，利用该电压信号对透过光调制器的光进行相位调制，使该相位调制了的光和未被相位调制的光干扰得到干扰光，将该干扰光的强度变换为电信号，从而特定所述被测定电流的值。