| 发明名称 |
Temperature control apparatus and method with recirculated coolant |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0664501(B1) |
申请公布日期 |
2000.05.03 |
| 申请号 |
EP19940401883 |
申请日期 |
1994.08.22 |
| 申请人 |
FSI INTERNATIONAL, INC. |
发明人 |
SLOAN, BEN J.;REED, WILLIAM G. |
| 分类号 |
G03F7/20;B23Q11/14;B01L7/00;G03F7/16;G03F7/26;G05D23/00;G05D23/19;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/683;(IPC1-7):G05D23/19;B01L7/02;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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