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发明名称 METHOD FOR BIAS SPUTTERING
摘要
申请公布号 EP0996762(A2) 申请公布日期 2000.05.03
申请号 EP19980930445 申请日期 1998.06.22
申请人 APPLIED MATERIALS, INC.;APPLIED SCIENCE & TECHNOLOGY, INC. 发明人 YAO, TSE-YONG;XU, ZHENG;NGAN, KENNY, KING-TAI;CHEN, XING;URBAHN, JOHN;BOURGET, LAWRENCE, P.
分类号 C23C14/04;C23C14/34;C23C14/35;H01J37/32;H01L21/768;(IPC1-7):C23C2/00 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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