| 发明名称 | 蒸镀装置 | ||
| 摘要 | 一种用于在薄膜镀覆设备中在一个薄膜(8)上蒸镀上成长条形状的分离剂条的蒸镀装置,它具有一个用电加热器(5)加热的分离剂蒸发容器和一个具有将所产生的分离剂蒸汽引向薄膜(8)的喷口(7)的喷管体(3)。喷管体(3)被设计成空心体,蒸发容器(1)借助一个截流装置(4)可截断地与喷管体(3)相连。 | ||
| 申请公布号 | CN1251866A | 申请公布日期 | 2000.05.03 |
| 申请号 | CN99121571.0 | 申请日期 | 1999.10.19 |
| 申请人 | 莱博德系统股份有限公司 | 发明人 | G·克莱姆;K·奥伯勒;J·克里斯彻;T·福格特 |
| 分类号 | C23C14/24;C23C14/56 | 主分类号 | C23C14/24 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 崔幼平 |
| 主权项 | 1.一种用于在薄膜镀覆设备中在一个薄膜上蒸镀上成长条形状的分离剂条的蒸镀装置，它具有一个用电加热器加热的分离剂蒸发容器和一个具有将所产生的分离剂蒸汽引向薄膜的喷口的喷管体，其特征在于，喷管体(3)被设计成空心体，蒸发容器(1)借助一个截流装置(4)可截断地与喷管体(3)相连。 | ||
| 地址 | 联邦德国哈瑙 | ||