Method and apparatus for loading and unloading a high vacuum process chamber,申请号US19640387401-传众专利搜索

发明名称	Method and apparatus for loading and unloading a high vacuum process chamber
摘要
申请公布号	US3260383(A)	申请公布日期	1966.07.12
申请号	US19640387401	申请日期	1964.08.04
申请人	VACUUM PROCESSES, INC.	发明人	FITZGERALD JOHN J.
分类号	F26B5/04;H01L21/677	主分类号	F26B5/04
代理机构		代理人
主权项
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