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发明名称
A process for integrated circuit device fabrication using a variable transmission aperture
摘要
申请公布号
EP0938031(B1)
申请公布日期
2000.05.03
申请号
EP19990300913
申请日期
1999.02.09
申请人
LUCENT TECHNOLOGIES INC.
发明人
CIRELLI, RAYMOND ANDREW;MKRTCHYAN, MASIS;TRIMBLE, LEE EDWARD;WATSON, GEORGE PATRICK;WINDT, DAVID LEE
分类号
H01L21/027;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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