Cofocal optical systems for thickness measurements of patterned wafers,申请号EP19940307402-传众专利搜索

发明名称	Cofocal optical systems for thickness measurements of patterned wafers
摘要
申请公布号	EP0647828(B1)	申请公布日期	2000.05.03
申请号	EP19940307402	申请日期	1994.10.10
申请人	IPEC PRECISION, INC.	发明人	LEDGER, ANTHONY M.
分类号	H01L21/66;G01B11/06;G02B27/18;G03F7/20;(IPC1-7):G01B11/06	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
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