发明名称 Verfahren zum Verringern des Bahnwiderstands von Halbleiterbauelementen
摘要
申请公布号 DE1221363(B) 申请公布日期 1966.07.21
申请号 DE1964T026075 申请日期 1964.04.25
申请人 TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGSGESELLSCHAFT M.B.H. 发明人 SCHUETZE DR. RER. NAT. HANS-JUERGEN;HENNINGS DR.-ING. KLAUS
分类号 H01L21/78;H01L23/485 主分类号 H01L21/78
代理机构 代理人
主权项
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