发明名称 UN TRAPO Y METODO PARA PONER Y QUITAR EL MISMO EN UNA PLACA DE ASIENTO DE UNA PULIDORA.
摘要 UN PAÑO PARA PULIR DE ACUERDO CON LA PRESENTE INVENCION, INCLUYE: UN SUSTRATO PULIDOR DEL PAÑO (1); UNA CAPA ADHESIVA PIEZOSENSIBLE (2) LAMINADA SOBRE UNA CARA DEL SUSTRATO PULIDOR DEL PAÑO (1); Y UNA HOJA QUE SE PUEDE QUITAR (3) ACOPLADA A LA CAPA ADHESIVA PIEZOSENSIBLE (2) DE FORMA QUITABLE. LA CAPA ADHESIVA PIEZOSENSIBLE (2) INCLUYE UNA COMPOSICION ADHESIVA QUE CONTIENE UN POLIMERO, TENIENDO EL POLIMERO UNA TRANSICION DE PRIMER ORDEN A LA FUSION, EN UN RANGO DE TEMPERATURA MAS ESTRECHO QUE 15 UN PAÑO PARA PULIR, Y UN METODO PARA ACOPLAR/DESACOPLAR EL PAÑO PARA PULIR A/DESDE UNA PLACA BASE DE UNA PULIDORA, DE TAL FORMA QUE EL PAÑO PARA PULIR PUEDA DESPEGARSE DE LA PLACA BASE, SIMPLEMENTE ENFRIANDO LA PLACA BASE Y LA CAPA ADHESIVA DEL PAÑO PARA PULIR.
申请公布号 ES2143194(T3) 申请公布日期 2000.05.01
申请号 ES19960912219T 申请日期 1996.04.24
申请人 NITTA CORPORATION 发明人 ISHII, HIDEYUKI RODEL;SHIGETA, YOSHITANE
分类号 B24B37/20;B24B37/22;B24B37/24;B24D3/00;B24D11/00;B32B7/12;B32B27/12;C09J7/02;H01L21/304;(IPC1-7):B24D11/00 主分类号 B24B37/20
代理机构 代理人
主权项
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