摘要 |
UN PAÑO PARA PULIR DE ACUERDO CON LA PRESENTE INVENCION, INCLUYE: UN SUSTRATO PULIDOR DEL PAÑO (1); UNA CAPA ADHESIVA PIEZOSENSIBLE (2) LAMINADA SOBRE UNA CARA DEL SUSTRATO PULIDOR DEL PAÑO (1); Y UNA HOJA QUE SE PUEDE QUITAR (3) ACOPLADA A LA CAPA ADHESIVA PIEZOSENSIBLE (2) DE FORMA QUITABLE. LA CAPA ADHESIVA PIEZOSENSIBLE (2) INCLUYE UNA COMPOSICION ADHESIVA QUE CONTIENE UN POLIMERO, TENIENDO EL POLIMERO UNA TRANSICION DE PRIMER ORDEN A LA FUSION, EN UN RANGO DE TEMPERATURA MAS ESTRECHO QUE 15 UN PAÑO PARA PULIR, Y UN METODO PARA ACOPLAR/DESACOPLAR EL PAÑO PARA PULIR A/DESDE UNA PLACA BASE DE UNA PULIDORA, DE TAL FORMA QUE EL PAÑO PARA PULIR PUEDA DESPEGARSE DE LA PLACA BASE, SIMPLEMENTE ENFRIANDO LA PLACA BASE Y LA CAPA ADHESIVA DEL PAÑO PARA PULIR. |