| 发明名称 |
SUBSTRATE PROCESS APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100253134(B1) |
申请公布日期 |
2000.05.01 |
| 申请号 |
KR19960001800 |
申请日期 |
1996.01.27 |
| 申请人 |
KOKUSA ELECTRIC CO.,LTD. |
发明人 |
OKAYAMA, SATOHIRO;SUDA, YAZUHIKO |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/509;H01J37/32;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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