| 发明名称 |
Halfgeleiderinrichting en werkwijze voor het maken daarvan. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL193764(B) |
申请公布日期 |
2000.05.01 |
| 申请号 |
NL19920002131 |
申请日期 |
1992.12.09 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
MASAAKI IKEGAMI;TETSUO HIGUCHI |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/06;H01L27/08;(IPC1-7):H01L27/08;H01L21/321 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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