发明名称 SILICON GROWTH METHOD AND METHOD FOR MANUFACTURING MOS TRANSISTOR
摘要
申请公布号 KR100254687(B1) 申请公布日期 2000.05.01
申请号 KR19930018327 申请日期 1993.09.13
申请人 SONY CORPORATION 发明人 TACAHASHI, HIROSHI;NOGUCHI, TACASHI
分类号 H01L21/20;H01L21/265;H01L21/335;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/335 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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