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发明名称 HIGH FREQUENCY POWER ADJUSTING DEVICE
摘要
申请公布号 KR100249020(B1) 申请公布日期 2000.05.01
申请号 KR19970075332 申请日期 1997.12.27
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 HWANG, CHANG IL
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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