发明名称 THE SHIELD FOR CVD
摘要
申请公布号 KR200177293(Y1) 申请公布日期 2000.05.01
申请号 KR19970026493U 申请日期 1997.09.24
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 HONG, KI-CHUL
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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