| 发明名称 |
SCAN AND TILT APPARATUS FOR AN ION IMPLANTER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100254931(B1) |
申请公布日期 |
2000.05.01 |
| 申请号 |
KR19940034400 |
申请日期 |
1994.12.15 |
| 申请人 |
EATON CORPORATION |
发明人 |
ROBERT A. BRUNE;ANDREW M. RAY |
| 分类号 |
C23C14/48;B25J9/04;H01J37/20;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/265 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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