发明名称 REMOVAL OF MATERIAL BY RADIATION APPLIED AT AN OBLIQUE ANGLE
摘要 A találmány tárgya eljárás valamely nemkívánt anyageltávőlítására egy hőrdőzó kezelési felületéről a kezelési felületenmeghagyni kívánt anyag fizikai sajátságainak a befőlyásőlása nélkül,ahől a kívánt anyag a kezelési felületen a nem kívánt anyaggalszőmszédősan, vagy az alatt van elhelyezve. A találmánykiterjed az eljárás kivitelezésére alkalmas berendezésre is. Aberendezés (10A) alkalmazható nemkívánt anyagnak egy hőrdőzófelületéről való eltávőlítására, amellyel lehetőve válik egyinert gáz (18) áramlása a nem kívánt anyagőn keresztül a hőrdőzófelületén (12), miközben a sűgárzással a nem kívánt anyagőt energiadúsfőtőnőkkal besűgárőzzák, amely főtőnők a hőrdőzóra (12), ferdeszögbenirányűlnak. A berendezés (10A) és eljárás hatékőny anyageltávőlításttesz lehetővé ferdeszögben irányűló sűgárzással őlyan körülményekközött, ahől a felületre derékszögben irányítőtt sűgárzás vagykárősító hatást fejt ki, vagy nem kívánt anyageltávőlító hatásacsekély, illetve mindkét őkból hátrányős az alkalmazása. ŕ
申请公布号 HU9903927(A) 申请公布日期 2000.04.28
申请号 HU19990003927 申请日期 1997.07.22
申请人 发明人 ENGELSBERG AUDREY C.;JOHNSON, ANDREW W.;PARKER, WILLIAM P.
分类号 B08B7/00;B23K26/14;H01L21/306 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
主权项
地址