发明名称 Method of forming a via plug in a semiconductor device and a semiconductor device using its method
摘要
申请公布号 HK1010423(A1) 申请公布日期 2000.04.28
申请号 HK19980110979 申请日期 1998.09.25
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO. LTD. 发明人 KYEONG KEON CHOI
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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