发明名称 |
REALISATION DE MUR D'ISOLEMENT |
摘要 |
<P>L'invention concerne un procédé de formation de mur d'isolement dans un substrat semiconducteur d'un premier type de conductivité, comprenant les étapes consistant à percer dans le substrat des évidements non jointifs selon le contour du mur d'isolement désiré; remplir les évidements d'un matériau contenant un dopant du deuxième type de conductivité; et procéder à une étape de recuit pour que des régions du deuxième type de conductivité diffusées à partir d'évidements voisins se rejoignent. Une première série d'évidements (20) est formée à partir de la face supérieure et une deuxième série d'évidements (30) est formée à partir de la face inférieure. Les évidements ont une section sensiblement rectangulaire dont la grande dimension est perpendiculaire à l'alignement des évidements et ont une profondeur inférieure ou égale à la demi épaisseur du substrat.</P> |
申请公布号 |
FR2785089(A1) |
申请公布日期 |
2000.04.28 |
申请号 |
FR19980013544 |
申请日期 |
1998.10.23 |
申请人 |
STMICROELECTRONICS SA |
发明人 |
ANCEAU CHRISTINE;PIERRE FABIEN;BONNAUD OLIVIER |
分类号 |
H01L21/76;H01L21/225;H01L21/761;H01L21/763 |
主分类号 |
H01L21/76 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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