| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Detektierung des Zustandes der Oberfläche eines Objektes mit einer reflektierenden Oberfläche, anwendbar zur Kontrolle der Rauhigkeit von polierten Objekten |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69607257(D1) |
申请公布日期 |
2000.04.27 |
| 申请号 |
DE19966007257 |
申请日期 |
1996.07.26 |
| 申请人 |
SATIMAGE, ORLY |
发明人 |
DELYON, FRANCOIS;LEVY, YVES-EMMANUEL |
| 分类号 |
G01B11/30;(IPC1-7):G01B11/30 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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