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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Beschichtung und/oder Oberflächenmodifizierung von Gegenständen im Vakuum unter Verwendung eines Plasmas, wobei die Möglichkeit besteht, vielgestaltige Gegenstände allseitig zu beschichten bzw. zu modifizieren, ohne daß ein großer anlagentechnischer bzw. verfahrenstechnischer Aufwand erforderlich sind. Erfindungsgemäß wird ein kastenförmiges Gebilde (1) aus einem elektrisch leitenden Material verwendet, daß eine Vakuumkammer bildet oder in eine Vakuumkammer einführbar ist. In das kastenförmige Gebildet können Gegenstände (2) durch mindestens eine verschließbare Öffnung (8) in einem Abstand zur inneren Wandung eingesetzt werden. Außerdem sind mindestens eine Öffnung (3) zur Zu- und mindestens eine Öffnung (4) zur Abfuhr von Arbeitsgas sowie eine Öffnung (6, 6') zur Einführung von Energie für die Erzeugung einer Glimmentladung vorhanden und das kastenförmige Gebilde (1) weist ein gegenüber dem mit der Glimmentladung erzeugten Plasma elektrisch negatives Potential auf.
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