磨料料浆及其制备方法

摘要

一种磨料料浆,它含有氧化铝粒、一种无机盐、一种可溶于水的螯合剂、一种磨料油和一种几乎不溶于水的螯合铝盐或螯合镍盐。该氧化铝粒的平均颗粒直径为0.05—1微米且数量为0.1—10%(重量)。该无机盐选自可溶于水的无机铝盐和镍盐且数量为0.1—3%(重量)。该可溶于水的螯合剂的数量为0.1—3%(重量)。该磨料油的数量为0.1—10%(重量)。几乎不溶于水的螯合铝盐或螯合镍盐的数量不超过0.1%(重量)。这种磨料料浆可用于在生产半导体集成电路和磁性薄膜磁头的同时磨蚀其绝缘层。

主权项

1.一种制备磨料料浆的方法，它包括下列步骤：制备选自可溶于水的无机铝盐和镍盐中的至少一种的无机盐溶液和可溶于水的螯合剂溶液；将这两种溶液混合；存放该混合溶液，以析出几乎不溶于水的晶体；由该溶液中除去该几乎不溶于水的晶体；以及将该溶液与平均颗粒直径为0.05-1微米的氧化铝粒、磨料油和所需量的水介质混合。