发明名称 DUAL DAMASCENE ETCH PROCESS
摘要
申请公布号 EP0995228(A1) 申请公布日期 2000.04.26
申请号 EP19980915322 申请日期 1998.04.07
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 BANDYOPADHYAY, BASAB;GATTO, MICHAEL, J.
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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