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发明名称 Process for depositing adherent diamond thin films
摘要
申请公布号 EP0822268(B1) 申请公布日期 2000.04.26
申请号 EP19960112277 申请日期 1996.07.30
申请人 MICHIGAN STATE UNIVERSITY 发明人 ULCZYNSKI, MICHAEL J.;ASMUSSEN, JES;REINHARD, DONNIE K.
分类号 C23C16/26;C23C16/27;C23C16/452;C23C16/50;H01L21/205;C30B29/04;(IPC1-7):C23C16/26;C23C16/44 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
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