MEASUREMENT OF SMALL, PERIODIC UNDULATIONS IN SURFACES

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zum Erkennen kleiner, periodischer Welligkeiten in technischen Oberflächen nach der Streulichtmethode, bei dem die Oberfläche mit einem Lichtstrahl - Primärlicht - beleuchtet und das von der Oberfläche zurückgeworfene Sekundärlicht untersucht wird. Um auf diese Weise auch im rauhen Fabrikationsbetrieb rasch, freihändig und mit reproduzierbarer Aussagekraft Messungen durchführen zu können, wird erfindungsgemäss monochromatisches, kohärentes Primärlicht verwendet, welches - die Werkstückoberfläche streifend - annähernd quer zu den zu erwartenden periodischen Welligkeiten auf die Werkstückoberfläche gerichtet ist. Dadurch wird im Sekundärlichtbündel ein Beugungsbild der wellenförmigen Oberflächenstruktur erzeugt. Das Auftreten zweier Intensitätsmaxima deutet bereits das Vorhandensein einer periodischen Welligkeit an. Aus dem Abstand benachbarter Intensitätsmaxima kann nach einer umgekehrten Proportionalität auf die Periodenlänge der Welligkeit und aus der Intensität benachbarter Intensitätsmaxima sowie aus der Periodenlänge auf die Tiefe der Wellentäler zwischen den Wellenkämmen geschlossen werden.