发明名称 Rasterkraftmikroskop mit integrierter Optik und Auslegerhalterung, sowie Methode zu dessen Gebrauch
摘要
申请公布号 DE69325841(T2) 申请公布日期 2000.04.20
申请号 DE1993625841T 申请日期 1993.02.25
申请人 TOPOMETRIX 发明人 GAMBLE, RONALD C.;WEST, PAUL E.
分类号 G01B11/30;B01L7/00;G01B7/34;G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/00;G01Q20/02;G01Q30/14;G01Q60/24;G01Q70/02;H01J37/28;(IPC1-7):G01B7/34;G01N27/00 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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