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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG INTEGRIERTER SCHALTUNGSBAUELEMENTE
摘要
申请公布号
DE69511241(T2)
申请公布日期
2000.04.20
申请号
DE1995611241T
申请日期
1995.01.10
申请人
SHELLCASE LTD.
发明人
BADEHI, PIERRE
分类号
H01L23/29;H01L21/301;H01L21/68;H01L21/784;H01L23/31;(IPC1-7):H01L23/485;H01L21/60
主分类号
H01L23/29
代理机构
代理人
主权项
地址
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