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发明名称 Epitaxial metal oxide deposition
摘要
申请公布号 GB2342659(A) 申请公布日期 2000.04.19
申请号 GB19990006592 申请日期 1999.03.22
申请人 * DIRECTOR-GENERAL OF AGENCY OF INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 SUSUMU * MIZUTA;IWAO * YAMAGUCHI;TOSHIYA * KUMAGAI;TAKAAKI * MANABE;WAKICHI * KONDO;TADAO * SHIMIZU;TSUYOSHI * TERAYAMA
分类号 C30B29/16;C07F15/02;C23C18/04;C23C18/12;(IPC1-7):C23C18/04 主分类号 C30B29/16
代理机构 代理人
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